目前醫療器械廣泛采用環氧乙烷來滅菌，環氧乙烷滅菌器是一次性使用無菌醫療器械生產企業的關鍵設備，安裝操作、使用管理都有其特殊要求，用環氧乙烷來做滅菌劑。環氧乙烷在室溫條件下，很容易揮發成氣體，當濃度過高時可引起爆炸。環氧乙烷不損害滅菌的物品且穿透力很強，故多數不宜用一般方法滅菌的物品均可用環氧乙烷消毒和滅菌，環氧乙烷是目前主要的低溫滅菌方法之一。目前使用的環氧乙烷滅菌器種類很多，按大小可分大型、中型和小型環氧乙烷滅菌器。大型的容器有數十立方米，中等的有1-10ｍ3，小型的有零點幾至１立方米。它們各有不同的用途：
1.大型環氧乙烷滅菌器：一般用于大量處理物品的滅菌，用藥量為0.8kg/m3-1.2kg/m3，在55℃～60℃下作用６h。
2.中型環氧乙烷滅菌器：一般用于一次性使用診療用品的滅菌。這種滅菌設備完善，自動化程度高，可用純環氧乙烷或環氧乙烷和二氧化碳混合氣體。一般要求滅菌條件為：濃度，800mg/L-1000mg/L；溫度，55℃～60℃；相對濕度60％～80％；作用時間6h。滅菌完成需抽真空。滅菌物品常用可透過環氧乙烷的塑料薄膜密閉包裝。如果在小包裝上帶有可過濾空氣的濾膜，則滅菌效果更好。
3.小型環氧乙烷滅菌器：多用于醫療衛生部門處理少量醫療器械和用品，目前有純環氧乙烷或環氧乙烷和二氧化碳混合氣體。這類滅菌器自動化程度比較高，可自動抽真空，自動加藥，自動調節溫度和相對濕度，可自動控制滅菌時間。
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